题 目：柔性机构与微纳定位系统：创新与应用

报告人：汤晖, 广东工业大学教授

时 间：12月11日15:30-17:30

地 点：机械楼2楼会议室

主讲介绍：

汤晖，男，1982年3月生，教授（破格），博士，硕导/合作博导，“青年百人”A+类高层次引进人才，省“千百十人才工程”培养对象，广东工业大学“精密电子制造技术与装备”国家重点实验室、3C电子产品制造装备协同创新中心（国家2011协同创新中心）主任助理，深圳大族激光科技特派员/高级专家顾问。2014年7月于澳门大学获得机电工程专业博士学位，先后赴美国哥伦比亚大学BioMEMS实验室及香港理工大学超精密加工技术国家重点实验室从事博士后研究工作。研究方向为柔性机构、微纳定位系统及其半导体芯片制造、纳米制造装备研发。承担国家自然科学基金3项(主持面上、青年各1项)、国家重点研发计划（课题）1项，另参与完成美国NIH、澳门FDCT、国家973、国家基金重点项目等课题20余项。2017~2019连续三年担任了全球机器人与自动化顶级会议IEEE IROS 会议副编辑，多个知名会议分会场主席。长期担任IEEE Trans.等多个Top期刊的审稿人，《纳米技术与精密工程》期刊编委、《中国制造2025》重点领域技术路线图建议专家，已发表高水平SCI/EI学术论文67篇（SCI一区13篇），指导课题获3M-NANO 2017/2019最佳学生论文奖，引用次数710次，他引>460次，H指数为10。申请发明专利41件（已授权发明专利19件、软件著作权3件），获第五届广东省专利奖金奖1项。指导课题荣获第十五届“挑战杯”全国特等奖、第四届中国“互联网+”大学生创新创业大赛银奖等多项国家级荣誉，指导学生荣获中国青少年科技创新奖（邓小平奖）。

报告简介：

柔性机构以其诸多优点如无间隙、无摩擦、以及无积累误差、真空适用等，使得其在微纳米定位系统中得到了广泛应用。压电陶瓷驱动器具有纳米级定位精度、响应速度快、驱动力大等众多优势，然而行程不足的缺陷，大大限制了其进一步应用与发展。如何同时实现大行程、高精度、高带宽已成为微纳米定位领域急需解决和突破的关键技术瓶颈。报告人自2010年起一直围绕“柔性机构与微纳米定位”这一主题的前沿基础理论与关键技术挑战开展科学研究，针对所面临的行程精度同时保证难、稳定性可靠性差、非线性严重带宽不足等共性科学问题和关键技术挑战，开展了系统深入的理论与应用研究。聚焦大行程柔性机构优化设计、高分辨率位移检测反馈、高带宽纳米伺服驱动控制三大关键问题开展工作，并将前期研究成果集成应用于先进半导体芯片封装制造等领域，为柔性微纳定位技术开辟了全新的应用领域，初步构建了科学问题带动创新研究、创新研究推进创成应用的学术体系。

本报告将从微纳定位系统的若干关键基础研究和前沿产业应用实践两个方面进行介绍，最后将进行国家自然科学基金申报经验与成败案例分享。汤教授曾借调至基金委工作，具有较丰富的基金申请经验，欢迎工学院机械系教师及研究生参加。

工学院

2020年12月9日